< Clean Room >

  

1. Photo lithography

  - Spin Coating machine

  - Mask aligner 시스템

  - Dry oven

  - Hot plate

  - Wet station

 

 

 

 

 

2. Nano imprinting

  - 금속 나노박막증착시스템

  - 대면적 나노 Elecrtroforming 장비

  - Passivation System

  - Glove Chamber

  - 나노 임프린팅 장비

  - Nano UV-Molding System

  - Precision small dosage dispenser

  - Hydraulic Compressor

 

 

3. Lasers & Optics

  - 고체다이오드 레이저(λ : 266nm)

  - 다이오드 레이저(λ : 405nm)

  - He-Cd Laser(λ : 442nm)

  - DPSS laser(λ : 582nm)

  - Swept-laser(λ : 1310nm)

  - Supercontinuum Laser (λ : 400-2200nm)

  - High speed digitizer

  - Acousto optic modulator

  - Piezo tilt mirror

  - Lock-in amplifier

  - 거리측정 간섭계

  - Laser Controller

  - DAQmx digitizer

  - Plmars XYZ nanopositioning 시스템

 

4. Measurements

  - Form Talysurf PGI

  - 광학현미경

  - 지향각 측정시스템

  - 비접촉 3차원 정밀 측정 시스템

  - Power meter

  - Contact angle analyzer

  - 정밀 광성능 평가 시스템

  - IR Pyrometer

  - High Speed Spectrometer

  - Broadband- spectrometer

  - I-MAQ board

  - 비구면 3차원 측정기